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摘 要：利用“闪光灯退火”的毫秒级光脉冲热处理技术，使磁性存储器和磁性传感器中使用的典型自旋电子器件——磁性隧道结（MTJ）在约1.7秒内达到实用水平性能。
关键词：自旋电子器件、闪光灯退火、快速热处理、磁性隧道结（MTJ）、结晶化
要点
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证实了一种超高速热处理技术，通过毫秒级光脉冲反复照射，可在约1.7秒内使得用于磁性存储器和磁性传感器的磁性隧道结（MTJ）达到实用水平性能。
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表情
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